非接觸厚度電阻率測試儀

非接觸厚度電阻率測試儀 型號：JXNRT1 
一、測試原理 
1、 原理 
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器，以及后續(xù)的處理電路組成。將半導(dǎo)體硅片置于兩個(gè)探頭的間隙中時(shí)，在電磁場的作用下，半導(dǎo)體硅片中會產(chǎn)生渦流效應(yīng)，通過檢測渦流效應(yīng)的大小，可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法，不損傷材料表面，可以在大多數(shù)場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。 
非接觸厚度電阻率測試儀 2、厚度測試探頭原理 
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復(fù)性好，測試數(shù)值穩(wěn)定，技術(shù)成熟等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于各種材料厚度的測試。 
  
二、范圍 
本設(shè)備為非接觸無損測量設(shè)備，測試過程中對硅片表面以及內(nèi)部不會造成損傷。特別于代替四探針法用于半導(dǎo)體硅片成品分選檢驗(yàn)。一臺儀器可以同時(shí)對厚度和電阻率兩個(gè)指標(biāo)進(jìn)行測試分選，減少了測試工序和測試時(shí)間，提高了測試效率。 
典型的客戶：科研單位、硅片生產(chǎn)廠商、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠商、光伏企業(yè)、導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)企業(yè)。 
三、儀器構(gòu)成 
1、測試主機(jī)：1 臺 
2、電源線：1 根 
3、串口數(shù)據(jù)線：1 根 
4、電腦端軟件：1 套 
5、塑料定位柱：2 個(gè) 

四、儀器外觀尺寸結(jié)構(gòu)及圖片 
1、整機(jī)尺寸：340*260*180mm 
2、機(jī)箱顏色：電腦白 


3、儀器結(jié)構(gòu)：本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。 
五、儀器主要指標(biāo) 
1、電氣規(guī)格 
a. 使用標(biāo)準(zhǔn)三插頭，由 220V 交流電供電，整機(jī)功耗小于 15 瓦。 
b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料，按照安全規(guī)范，請確保電源地線正確連接。 
2、測試范圍 
測試樣品要求：厚度小于 600um 的半導(dǎo)體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制，厚度大的測試范圍可以擴(kuò)展到 800um) 
電阻率范圍： L 檔： 0.2-5 Ω·cm 
H 檔： 5-50 Ω·cm 
注： 電阻率不在上述量程范圍內(nèi)的可以按要求調(diào)整， 調(diào)整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。 
厚度范圍： 100-600 um （定制版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區(qū)域。

產(chǎn)品名稱：化工原料水分儀 化工原料水份儀 產(chǎn)品型號：FD-C1 化工原料水分儀 化工原料水份儀   型號： FD-C1   本水分儀是引進(jìn)*傳感器在國內(nèi)推出的高性能、數(shù)字化水分測量儀器。儀器采用高周波原理，數(shù)字顯示，傳感器與主體合為一體，設(shè)有多個(gè)檔位用來測量各類堿活性染料、化學(xué)礦物原料、有機(jī)、無機(jī)化工原料、原油、重油、染料、樹脂、洗衣粉、金屬皂、助劑、溶液、奶粉、添加劑、、煤炭、化肥、中西藥等粉狀、顆粒狀、液體狀水分。該儀器測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩(wěn)定、指標(biāo)可靠，而且體積小、重量輕，可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測，使用簡單方便。是化工行業(yè)檢測其產(chǎn)品水分的理想儀器。   主要特點(diǎn)   1、引進(jìn)*傳感器，進(jìn)口芯片。   2、*的傳感器設(shè)計(jì)及制作方法有出一般的穿透能力。   3、專有的傳感器技術(shù)較寬的工作范圍，可插入測量，快速顯示。   4、性能穩(wěn)定、品質(zhì)優(yōu)良。   5、便攜式儀表外殼為專有設(shè)計(jì)。   6、儀表設(shè)計(jì)精巧、結(jié)構(gòu)緊湊。   技術(shù)性能   1、測量水分范圍：0~80%    2、使用環(huán)境：-5℃～+50℃    3、精 度： 0%～1% 精度：±0.01% ；   1%～5% 精度：±0.1% ；   5%～20% 精度：±0.5% ；    20%～40% 精度：±1% ；   40%～80% 精度：±2%   4、響應(yīng)時(shí)間：1秒    5、顯 示：3½位LCD液晶數(shù)字顯示   6、探針長度：200mm    7、電源：9V（6F22型）積層電池一節(jié)    8、體 積：160×60×27（mm）   9、重 量：200克   有1和2兩個(gè)檔位，1檔測量范圍是   0%～1%，2檔1%以上   選型：C1 測固體   C2 測液體